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当前位置： 网站首页 解决方案 LDI曝光机精密大理石直线电机应用方案
方案详情
所属行业：半导体
设备名称：LDI曝光机
行业应用：线路板外层、柔性线路板等
使用环境：恒温车间
结 构：大理石龙门
配置说明：KYAC4000系列电机、RSF光栅编码器、Rexroth/THK导轨、ACS运动控制器
方案特点：采用无无铁芯直线电机，最高可以实现运动轴千分之一的速度波动；ACS的运动控制提高整个装备的运动稳定性；专业的组装、设计团队确保方案稳步推进；雷尼绍激光干涉仪提供运动精度报告。
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